Термоэлектрический процесс-термостат LAUDA Semistat S 4400
Информация о доставке
Работаем только с ИП и юридическими лицами (коммерческими компаниями и государственными организациями) Российской Федерации. Участвуем в тендерах, зарегистрированы на всех электронных торговых площадках (ЭТП) РФ.
Внимание! Реальный вид продукции может отличаться от представленного на сайте изображения.
Преимущества сотрудничества с нашей компанией:
• Предлагаем дооснащение (модернизацию) данного оборудования, аксессуары и расходные материалы к нему;
• Официальная поставка на территорию РФ;
• Оригинальная продукция;
• Услуги полного послепродажного обслуживания, сервиса и ремонта, специальные условия и цены на все виды работ и запасных частей.
Описание товара
Термоэлектрическая система регулирования температуры на месте использования (Point-of-Use, Semistat) способная обеспечить воспроизводимое регулирование температуры для задач плазменного травления. Данная система обеспечивает динамическое регулирование температуры электростатического держателя пластин (ESC) и может использоваться для любых видов травления. Термоэлектрические системы серии LAUDA Semistat основаны на проверенных и известных принципах теплопередачи элементами Пельтье. Использование этих элементов позволяет быстро и точно регулировать температуру, что необходимо для реализации сложных процессов при производстве все более мелких компонентов.
Термоэлектрический процесс-термостат LAUDA Semistat S 4400 выпускается для полупроводниковой промышленности, имеет рабочий диапазон от −20 до 90 °C и холодопроизводительность до 4,40 кВт.
Благодаря использованию систем регулирования температуры на месте использования (Semistat) потребление энергии по сравнению с системами на базе компрессора можно снизить на 90 %. Поскольку устройство занимает очень мало места и его можно установить под полом на месте использования, расход площади чистого помещения минимизируется. Быстрое и точное регулирование температуры профилей температур процесса до ±0,1 K позволяет достигать более высокой однородности «от пластины к пластине».
Спецификация
| Минимальная рабочая температура, °C | –20 |
| Максимальная рабочая температура, °C | 90 |
| Холодопроизводительность при 20 °C, кВт | 0,70 |
| Холодопроизводительность при 0 °C, кВт | 2,60 |
| Холодопроизводительность при –20 °C, кВт | 4,40 |
| Максимальное давление нагнетания, бар | 2,8 |
| Максимальный расход (нагнетание), л/мин | 27 |
| Присоединительная резьба насоса | 1/2" |
| Максимальный объем наполнения, л | 2,8 |
| Масса, кг | 38 |
| Размеры (Ш × Г × В), мм | 194 x 300 x 560 |
